成果介绍
透明导电薄膜是指那种对可见光的平均透过率高(T 80%)、电阻率低(ρ10-3 Ω·cm)的薄膜,在太阳能电池、平板显示器、薄膜晶体管、气敏元件、抗静电涂层等领域具有广阔的应用前景。传统的透明导电薄膜是指氧化铟锡(俗称ITO),ITO中其透过率和电阻率分别由SnO2与In2O3之比来控制,一般SnO2:In2O3=1:9。由于铟是一种稀缺金属,近年来人们一直在探索其他的替代材料。Zn是地壳中蕴藏量较丰富的一种元素,本项目采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,对可见光平均透过率大于90%,电阻率低于510-4Ω·cm,具有广阔的应用前景。已发表科研论文十多篇。
成果亮点
1.利用磁控溅射技术结合原位加热方法,在玻璃衬底上生长高质量AZO薄膜;
2.利用磁控溅射技术通过调节生长气压和射频功率,在室温下柔性衬底上制备高质量AZO薄膜;
3.采用对设备要求低、原材料价格低廉的溶胶-凝胶法制备技术;
4. 特殊气氛下热处理技术;
5. 场诱导结晶技术。
团队介绍
智能传感与光电检测科研团队依托测控技术与智能仪器仪表河南省工程实验室,长期专注于先进智能传感及光电检测技术的研究与应用。现有专职教师12人,其中教授2人,副教授2人,讲师8人,具有博士学位8人,硕士学位4人。近3年,本团队已完成国家及省部级科研项目十余项,市厅级科研项目12项,科研经费到账近300万元;团队成员获河南省科技进步二等奖2项,三等奖1项,省教育厅科技成果奖二等奖2项,三等奖2项;发表高质量学术论文40余篇,授权发明专利十余项。
成果资料