昂坤设备在SiC检测领域的最新进展

发布时间: 2023-08-11

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式：技术服务

成果类型：新技术

行业领域：

新材料技术

成果介绍

主要为LED 照明，化合物半导体和集成电路产业提供光学测量和光学检测设备，专注于光学测量和光学检测设备的研发和制造。

成果亮点

从关键技术核心为设备所使用的光学镜头、光学系统和算法、软件完全由我司自主研发设计，拥有完全自主知识产权。公司设备为应对不同晶圆材质采用10倍双远心微分干涉光学镜头并配备有明场检测、暗场检测、光致发光检测。暗场下可以检测最小颗粒缺陷到80纳米，明场下可以检测最小缺陷到200纳米。设备扫描方式为激光弓形线扫，在缺陷捕捉方面基本不存在缺陷漏检。

团队介绍

1.公司总经理：马铁中博士，北京市海聚人才及国家人才计划。 2.公司副总经理：司亚山，毕业于合肥工业大学。曾任北京京东方液晶事业部车间主任；美国派利斯公司任销售总监；北京亚科电子公司创始人兼销售总监；北京亚科旭辉科技有限公司总经理；北京亚科晨旭科技有限公司技术/销售总监。

成果资料

产业化落地方案

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成果综合评价报告

评价单位：“科创中国”中关村产业技术联盟专业科技服务团 (中关村产业技术联盟联合会) 评价时间：2023-08-17

郑红军

北京三平泰克科技有限责任公司

常务副总经理

综合评价

该科技成果MOCVD在线监测系统、LED照明缺陷检测设备、化合物半导体缺陷检测设备以及集成电路缺陷检测设备。4个系列的产品全部由公司自主研发生产，拥有完全的知识产权；其中在化合物半导体缺陷检测领域和MOCVD在线测温设备方面基本可以替代国外品牌。

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