科创中国
电阻法助力大尺寸碳化硅晶体生长研发及产业化
发布时间: 2023-08-11
来源: 科技服务团
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
新技术
行业领域：
新材料技术
成果介绍
2020年在昆山开发区建立了中试基地，建设了20台6英寸电阻法晶体生长设备，为国内首条该技术的中试生产线，于2021年底完成中试任务。截止当前，累计销售6英寸电阻法晶体生长设备超500台，占国内该类似型号设备约90%份额。累计销售额将近10亿元。2023年5月成功研发出8英寸的电阻法晶体生长设备与工艺，在国内电阻法设备领域内处于领先位置。
成果亮点
公司基于6英寸碳化硅单晶生长装备及配套工艺积累了大量的经验，在此基础上，通过电阻法工艺，开发更大尺寸碳化硅单晶生长炉，同时开发与之相匹配的长晶工艺，提高长晶效率，降低生长成本，助力我国第三代半导体单晶材料的飞速发展。
团队介绍
核心人员有研发副总陈建明博士，专注于人工晶体生长设备与工艺的研发，人工晶体的规模化量产；Alexander Kraus 硕士现担任研发部经理；耿安东硕士高级研发工程师，专注于材料科学等。公司现授权发明核心专利6项、实用新型10项，在审发明专利2项、PCT专利1项等。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”中关村产业技术联盟专业科技服务团 (中关村产业技术联盟联合会) 评价时间：2023-09-15
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