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集成红外热传感器及其制造方法及成像系统和成像方法

发布时间: 2023-08-10

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 发明专利
行业领域：
物理
成果介绍
本发明适用于传感技术领域，提供了一种集成红外热传感器，包括光输出装置、微环波导阵列组件、直波导阵列组件及光电探测器；微环波导阵列组件包括第一衬底及多个谐振波长不同的微环波导，其排布成并列的微环波导列；直波导阵列组件包括第二衬底及多个直波导，微环波导列与直波导一一上下对应且可实现参考光的耦合传输，还包括输入波导及输出波导；第一、第二衬底通过支撑柱对接。本发明在同一衬底上制作微环波导阵列，在另一衬底制作直波导阵列，将两组件组合构成像元阵列，在工艺上更易实现，尺寸、对位更加精准，有利于传感器的灵敏度和响应速度的提升，并且可采用一个探测器探测全部像元的输出光，既简化了结构又节约了成本。
成果亮点
一种集成红外热传感器，其特征在于，包括用于输出不同波长的参考光的光输出装置、微环波导阵列组件、直波导阵列组件及光电探测器；所述微环波导阵列组件包括第一衬底及连接于所述第一衬底上的多个中心谐振波长不同的微环波导，多个微环波导排布成多个并列的微环波导列；所述直波导阵列组件包括第二衬底及设置于所述第二衬底上的多个并列的直波导，所述微环波导列与直波导一一上下对应且可实现参考光的耦合传输，还包括用于将所述参考光耦合至相应直波导的输入波导，以及用于将直波导输出的参考光传输至所述光电探测器的输出波导；所述第一衬底和第二衬底通过支撑柱对接。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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