智能半导体气体传感器

香港科技大学范教授联合创立艾感科技（广东）有限公司，在十几年的研究成果基础上拟开发新型气体传感器，打破美欧日的垄断，实现中高端气体传感器的自主知识产权国产化。

（一）. 三维气体纳米传感器的制备高灵敏度：基于高比表面积的三维多孔阳极金属氧化物基底，大大提高了单位体积内气敏材料与待测气体的接触面积，同时利用气体分子在纳米尺度孔内的克努森扩散，实现气体分子与气敏材料的充分碰撞与接触，实现室温或近室温下超高的灵敏度。低功耗：与传统金属氧化物气体传感器相比，无需保持较高的工作温度，从而大幅降低加热器的功耗。（二）. 高效的集成化微型加热板高集成度：微型加热板直接集成在三维气体纳米传感器的背面，降低了工艺复杂度超低热损耗：利用微纳加工技术，大幅缩小微型加热器的面积，同时由于金属氧化物具有较高的热传导率且远远高于周围的空气，可将热量集中于气敏传感区域，减少了热耗散。（三）. 传感器阵列的高度集成高传感器密度：通过在单块多孔纳米基底上沉积不同的金属氧化物、进行多种金属颗粒的修饰或采用不同功函数的金属电极，可快速制备有差异性的传感器像素，并实现单基底上的阵列封装。

团队名称：半导体气体传感器创新团队团队介绍：团队核心成员由香港科技大学、合肥工业大学及中国科学技术大学等高校的教授和校友组成，目前有员工19人，包括教授2人，博士研究生4人，硕士研究生4，本科以上学历占全公司 78% 以上。

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评价单位：“科创中国”高校科技成果转化科技服务团 (广东高校科技科技成果转化中心) 评价时间：2023-10-24

张红泉

广东高校科技成果转化中心

技术经理人

综合评价

该科技成果采用基于高比表面积的三维多孔阳极金属氧化物基底，利用气体分子在纳米尺度孔内的克努森扩散，微型加热板直接集成在三维气体纳米传感器的背面，利用微纳加工技术，高度集成的传感器阵列，实现有差异性的传感器像素的快速制备，并实现单基底上的阵列封装。总而言之，该项目成果的思路方向很好，未来市场空间广阔，符合当前政策要求，转化成熟度很高，值得支持推广。

评价单位：- (-) 评价时间：2023-09-28

胡荣杰

广东博士创新发展促进会

战略研究主任

综合评价

该科技成果采用基于高比表面积的三维多孔阳极金属氧化物基底，利用气体分子在纳米尺度孔内的克努森扩散，微型加热板直接集成在三维气体纳米传感器的背面，利用微纳加工技术，高度集成的传感器阵列，实现有差异性的传感器像素的快速制备，并实现单基底上的阵列封装。总而言之，该项目成果的思路方向很好，未来市场空间广阔，符合当前政策要求，转化成熟度很高，值得支持推广。

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