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基于 MEMS 技术的传感器及数据记录仪

发布时间: 2023-08-09

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 新技术
行业领域：
高新技术改造传统产业,高性能、智能化仪器仪表
成果介绍
XJA1 高 g 值冲击加速度计采用的 MEMS 压阻式硅芯片拥有自主的知识产权，其独特的内部结构，为传感器提供了可靠的过载保护、适当的空气阻尼及良好的密封性。主要用于航空航天、兵器、船舶、轨道交通装备等对冲击、碰撞、爆破产生的加速度测量。
成果亮点
自主制造的微机械加工耐高 g 值压阻芯片 100,000g 的量程，高过载保护 灵敏度高、长期稳定性好 高频响
团队介绍
西安交通大学陕西省微纳传感器工程技术研究中心，以院士和长江学者为 学术带头人的研究团队组成，专门从事微纳传感器设计、制造和应用研究工作。根据军工、航空航天等领域的特殊需求，依托西安交通大学精密工程与测试技术研究所及机械制造系统工程国家重点实验室在特种 MEMS 传感器领域的技术、人才、设备优势，开展 MEMS 耐高温压力传感器、超高压压力传感器、高频响压力传感器、微型化压力传感器的设计、制造及产业化研究。
成果资料