一种薄膜层刻蚀速率的测定方法 _科创中国

一种薄膜层刻蚀速率的测定方法

发布时间: 2023-07-26

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式：技术转让

成果类型：发明专利

行业领域：

水利、环境和公共设施管理业

成果介绍

本发明公开了一种薄膜层刻蚀速率的测定方法，具体包括以下步骤：(1)在已知成分的支撑层基底上附着一个或多个涂层形成一个薄膜；(2)准确得到每个涂层的厚度值和特征元素；(3)获得最表层元素的组成及化学态信息；(4)对膜进行清洁刻蚀；(5)记录刻蚀时间、刻蚀面积、刻蚀模式和刻蚀能量；(6)建立X射线光电子能谱仪氩离子溅射源对薄膜相应涂层的刻蚀速率函数关系。本发明主要利用氩离子束轰击薄膜层表面，然后通过X射线光电子能谱仪(XPS)和函数关系的计算，可以在薄膜层中获取指定深度的元素组成及化学态信息，并建立X射线光电子能谱仪氩离子溅射源对薄膜相应涂层的刻蚀速率函数关系。

成果亮点

本发明使用的薄膜层由支撑层和涂层两部分组成，具有重量轻、强度高和耐老化等特点，主要利用氩离子束轰击薄膜层表面，然后通过X射线光电子能谱仪(XPS)和函数关系的计算，可以在薄膜层中获取指定深度的元素组成及化学态信息，建立X射线光电子能谱仪氩离子溅射源对薄膜相应涂层的刻蚀速率函数关系。

团队介绍

实验室现有固定人员24人，包括中国工程院院士1人，研究员6人，副研究员6人，助理研究员10人，学术秘书2人。研究生和博士后44人。

成果资料

产业化落地方案

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成果综合评价报告

评价单位：“科创中国”中科院生态环境研究中心废水无害化与资源化科技服务团 (中国科学院生态环境研究中心) 评价时间：2023-12-07

袁洪

巴音郭楞蒙古自治州科学技术协会

副高级研究员

综合评价

本发明可广泛应用于建筑业、药物和纯净水过滤以及无菌实验等领域，有利于探索同种材质的薄膜层中指定厚度层界面处的材料性质，为薄膜分析领域提供新的解决办法。

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评价单位：- (-) 评价时间：2023-09-04

袁洪

巴音郭楞蒙古自治州科学技术协会

副高级研究员

综合评价

本发明可广泛应用于建筑业、药物和纯净水过滤以及无菌实验等领域，有利于探索同种材质的薄膜层中指定厚度层界面处的材料性质，为薄膜分析领域提供新的解决办法。

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