成果介绍
公司依靠哈工大最新的半导体装备研究成果,旨在解决现阶段半导体外延设备制造卡脖子的现状,助力国家半导体产业发展。 项目简介:当前市场和产业的痛点是半导体领域材料、制备工艺及装备严重依赖进口,在面临国外进口受限的形势下,自主可控的国产产品,将被广泛支持和被广泛使用,有极大的市场缺口和价值缺口。在国家重点研发计划 2021 年度项目申报计划中,高性能制造技术与重大装备模块中明确提到两个目标 1.研制 Micro-LED 量产的高可靠性 MOCVD 外延设备; 2.研制 6 英寸蓝宝石或硅衬底上氮化镓基 Micro-LED 外延生长工 艺及装备。 本项目在此基础上选题立项,开展基础研究和产业化开发,力求寻求创新引领与可持续发展,开发出GaN外延的高端国产化装备达成国家战略目标。
成果亮点
1、公司依托于哈尔滨工业大学(深圳),具备先进的半导体研发设备平台和检测设备平台,可以在高起点开展科研工作。公司已具有2500多平米洁净厂房,可开展半导体材料和组件的中试、生产,同时可进行半导体装备的生产和调试。
2、公司人才团队知识结构完整,有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队;还有来自工业界的高级装备设计师团队,他们具有20多年的半导体材料研究、外延技术研究和半导体薄膜制备成套装备设计和生产制造经验。
团队介绍
公司人才团队知识结构完整,有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队;还有来自工业界的高级装备设计师团队,他们具有20多年的半导体材料研究、外延技术研究和半导体薄膜制备成套装备设计和生产制造经验。
鹏城半导体由哈工大教授博士团队于2021年9月创建,公司创建人赵维巍博士,是中组部青年千人专家,已成功创建和运营了一家高科技公司。公司创建人吴向方教授,现任哈工大(深圳)材料学院教授、南方科技大学兼职教授、鹏城半导体技术(深圳)有限公司总工程师,具有高科技产业的战略眼光和产学研综合管理运营的成功经验。
吴向方,参与建设国家机器人示范工程基地和国家机器人学重点实验室,参加了机器人方面的国家七五攻关项目。参加了工业机器人通用控制器的研制,参加了焊接机器人的研制。 自行设计了真空机械手及配套电控系统和软件,用于真空环境下的自动化过程。 将机器人技术、真空技术、电子技术和控制技术,多学科交叉用于微观领域,开发设计了系列化微纳技术装备,广泛应用于新材料、新能源、光电子、纳米技术、传感器、MEMS、微纳机器人等领域。
成果资料