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本发明公开了一种氧化硅纳米颗粒的制备方法，包括如下步骤：用有机溶剂配制烷氧基硅烷的有机溶液；向所述烷氧基硅烷的有机溶液中加入酸后置于微波化学反应器中，在温度为30℃～180℃和搅拌转速为100rpm/min～2000rpm/min的条件下反应2min～30min得到酸性烷氧基硅烷的有机溶液；向所述酸性烷氧基硅烷的有机溶液中加入表面修饰剂后置于所述微波化学反应器中，在温度为30℃～180℃和搅拌转速为100rpm/min～2000rpm/min的条件下反应2min～30min，离心后保留滤渣，将所述滤渣洗涤、干燥后得到所述氧化硅纳米颗粒。这种氧化硅纳米颗粒的制备方法反应速度快，比常规方法要加快数十甚至数千倍，能降低颗粒的团聚，限制颗粒的生长，粒度易控制、均匀性好。

一种氧化硅纳米颗粒的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、用有机溶剂配制烷氧基硅烷的有机溶液，其中，所述烷氧基硅烷的主链的碳原子数不超过5；步骤二、向所述烷氧基硅烷的有机溶液中加入酸后置于微波化学反应器中，在温度为30℃～180℃和搅拌转速为100rpm/min～2000rpm/min的条件下反应2min～30min得到酸性烷氧基硅烷的有机溶液，其中，所述酸与所述烷氧基硅烷的质量比为***～***：1，所述微波化学反应器的微波频率范围为300MHz～300KMHz；步骤三、向所述酸性烷氧基硅烷的有机溶液中加入表面修饰剂后置于所述微波化学反应器中，在温度为30℃～180℃和搅拌转速为100rpm/min～2000rpm/min的条件下反应2min～30min，离心后保留滤渣，将所述滤渣洗涤、干燥后得到所述氧化硅纳米颗粒，其中，所述表面修饰剂与所述烷氧基硅烷的质量比为***～***：1，所述微波化学反应器的微波频率范围为300MHz～300KMHz；所述表面修饰剂为分子式为RCOOH的有机酸，其中R的主链的碳原子数为6～20。

中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。

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