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一种绝对压力传感器芯片及其制作方法

发布时间: 2023-07-11

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 发明专利
行业领域：
高新技术改造传统产业
成果介绍
本发明涉及一种绝对压力传感器芯片，包括绝对压力传感器集成在所述CMOS芯片上；所述绝对压力传感器包含压力敏感单元，所述压力敏感单元包括含有浮栅的场效应管，和嵌入了多晶硅或金属材料作栅极用以感应绝对压力变化的振动膜，所述浮栅嵌入CMOS芯片的介质层中，所述振动膜形成有空腔并被密封。所述绝对压力传感器芯片中，系在CMOS标准制造工艺的集成电路的金属导电层上制作牺牲层及可导电的振动膜，最终制成压力传感器微单元，不改变现有CMOS工艺，兼容性好。此外，还涉及一种绝对压力传感器芯片的制作方法。
成果亮点
1.一种绝对压力传感器芯片，其特征在于，包括绝对压力传感器集成在CMOS芯片上;所述绝对压力传感器包含压力敏感单元，所述压力敏感单元包括含有浮栅的场效应管，和嵌入了多晶硅或金属材料作栅极用以感应绝对压力变化的振动膜，所述振动膜上覆盖有保护膜，以封闭振动膜上的腐蚀孔;所述浮栅嵌入CMOS芯片的介质层中，所述振动膜形成有空腔并被密封，具体为所述保护膜封闭所述振动膜形成空腔。 2.根据权利要求1所述的绝对压力传感器芯片，其特征在于，所述CMOS芯片的背面形成电气连接焊盘。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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