科创中国
一种压力/二维磁场单片集成传感器
发布时间: 2023-07-03
来源: 科技服务团
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
实用新型专利
行业领域：
科学研究和技术服务业
成果介绍
本发明公开了一种压力/磁场单片集成传感器，该单片集成传感器包括第一磁敏二极管MD1、第二磁敏二极管MD2、第三磁敏二极管MD3、第四磁敏二极管MD4、第一压敏电阻R1、第二压敏电阻R2、第三压敏电阻R3、第四压敏电阻R4、第一负载电阻Rx1、第二负载电阻Rx2、第三负载电阻Ry3和第四负载电阻Ry4；其中，第一磁敏二极管MD1的正极与第二磁敏二极管MD2的正极构成差分输出，第三磁敏二极管MD3的正极和第四磁敏二极管MD4的正极构成差分输出，两对差分输出实现二维磁场的检测；第一压敏电阻R1与第四压敏电阻R4串联，形成第一输出电压Vout1，第二压敏电阻R2与第三压敏电阻R3串联，形成第二输出电压Vout2，两个输出电压构成差分输出实现压力的检测。
成果亮点
(1)该单片集成传感器可以同时对压力和磁场进行检测；
(2)该单片集成传感器在磁场检测时，采用四个平面结构磁敏二极管，分别构成两对差分输出，实现磁灵敏度的提高和温度漂移补偿；
(3)该单片集成传感器的SOI片器件层为n型<100>晶向高阻单晶硅，提高磁传感器的灵敏度并改善压力传感器的温度特性；
(4)该单片集成传感器稳定性好，集成化程度高；
(5)该单片集成传感器体积小，降低了生产成本。
团队介绍
黑龙江大学（Heilongjiang University），位于黑龙江省哈尔滨市，是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学，黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校，入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地，是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”黑龙江科技服务团 (黑龙江省科学技术协会) 评价时间：2023-11-07
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