科创中国

高端装备制造产业

本发明属于工业用机器人技术领域，涉及一种玻璃基片传输机器人。其特征是包括升降机构Ⅰ、旋转机构Ⅱ、直线伸缩机构Ⅲ和末端执行器Ⅳ，可实现Ｚ向升降运动、θ向旋转运动和Ｒ向直线伸缩运动。

三向运动相互独立，可实现单独或同时运动，其中θ向旋转运动和Ｒ向直线伸缩运动均采用谐波减速器减速，提高了定位精度。末端执行器Ⅳ采用真空夹持技术，提高了玻璃基片的传输效率。本发明的传输机器人结构紧凑、占地空间小、工作空间大、控制容易、运行平稳、运动惯量小、定位精度高，且可在洁净度较高的环境中工作。

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