一种压力传感器

发布时间: 2023-06-28

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式：合作开发

成果类型：发明专利

行业领域：

制造业

成果介绍

设计一个基于光学原理的压力传感器。在具有脊形波导阵列的基底上溅射薄膜，在入射光的激发下，在薄膜上形成Gap-SPP模式，压力使基地发生变形，进而改变阵列之间的缝隙大小，从而改变SPP波长度，将压力转换为光电信号。应用时，施加压力的方向与入射光的方向相同。

成果亮点

本发明提供的压力传感器，通过在输入端和输出端之间设置两个光通道，光下连结部和上连结部通过后，在输出端叠加，通过测量叠加后光波的信息，判断压力大小。此外，本发明还在输入端和输出端设置两个连结部，在两上连结部的上面施加压力，通过测量两连结部间的耦合，判断压力大小，具有使用方便，探测灵敏度高等优点。

团队介绍

荆敏娟，女，燕山大学光学专业硕士学位。运城学院物理与电子工程系讲师，主要从事大学物理教学工作。李强，男，太原理工大学硕士学位。运城学院机电工程系讲师，主要从事电子电气类课程的教学与研究。

成果资料

科创中国