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控制场发射阴极测试与老化过程中电流稳定性的方法

发布时间: 2023-06-27

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 发明专利
行业领域：
高技术服务业,集成电路
成果介绍
本发明涉及场致电子发射领域。为解决场发射阴极测试与老化过程中电流发射稳定性等问题，提供了利用场发射电子源装置控制场发射阴极测试与老化过程中电流稳定性的方法，使场发射电子源的阴极电子发射能力与在阴极和阳极之间所施加的电场强度相关联，并且使得由高压电源输出到阳极的电压越高，阴极电子发射能力越强；在场发射电子源上加载持续的高压，采用高压脉冲驱动单元把加载在场发射电子源上的持续的高压调节成脉冲式高压；设定脉冲式高压，以用于高压电源稳定读取测试中的电流，反馈给控制平台进行调节，并在下一个连续脉冲周期到来前完成调节过程。本发明通过对场发射电压进行反馈补偿，从而实现发射电流的稳定控制，具有较强的实用性。
成果亮点
使所述场发射电子源的阴极电子发射能力与在所述阴极和所述阳极之间所施加的电场强度相关联，并且在所述阴极与所述阳极之间的间距固定的情况下，使得由高压电源输出到所述阳极的电压越高，所述阴极电子发射能力越强；在所述场发射电子源上加载持续的高压，采用高压脉冲驱动单元把加载在场发射电子源上的所述持续的高压调节成脉冲式高压；设定脉冲式高压的短脉冲宽度t1、短脉冲周期T1、长脉冲宽度t2、连续脉冲周期T2、以及幅值，其中所述t1＜t2，T1＜T2，每经过若干次短脉冲后输出一个长脉冲，以用于高压电源稳定读取测试中的电流，反馈给控制平台进行调节，并在下一个连续脉冲周期T2到来前完成调节过程。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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