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防止在冷阴极X射线源测试与老化过程中持续打火的方法

发布时间: 2023-06-27

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式: 技术服务
成果类型: 发明专利
行业领域:
高技术服务业,高新技术改造传统产业,集成电路
成果介绍
本发明涉及电子发射领域。本发明提供了一种防止在冷阴极X射线源测试与老化过程中持续打火的方法,其包括通过所述栅极高压及脉冲驱动单元把加载在所述三极式X射线源的所述栅极与所述阴极之间的持续高压调节为脉冲式高压,以降低打火时所述阴极与所述栅极之间的过长的接触时间;当打火现象产生时,所述真空腔内的残余气体发生电离,导致所述真空度急剧上升时,所述真空环境监测单元检测到所述真空腔内的真空度的变化情况,并反馈给所述控制平台,再由所述控制平台的上位机软件判断本次打火是否超过所述阴极的承受范围。该方法可以实现阴极测试与老化过程的自动控制,并避免阴极老化过程中持续打火导致的阴极损坏,具有较强的实用性。
成果亮点
通过所述栅极高压及脉冲驱动单元把加载在所述三极式X射线源的所述栅极与所述阴极之间的持续高压调节为脉冲式高压,以降低打火时所述阴极与所述栅极之间的过长的接触时间;其次,当打火现象产生时,所述真空腔内的残余气体发生电离,导致所述真空度急剧上升时,所述真空环境监测单元检测到所述真空腔内的真空度的变化情况,并反馈给所述控制平台,再由所述控制平台的上位机软件判断本次打火是否超过所述阴极的承受范围,当所述真空度的波动范围超过预定的阈值范围时,则由所述控制平台的上位机软件发送指令给所述阳极高压电源和栅极高压电源,暂停高压输出,当所述真空度恢复到所述预定的阈值范围时,先重启所述栅极高压电源的输出,然后使所述阳极的电压以逐步提升方式达到预设值,以有效地降低同时施加阳极高压和栅极高压的瞬间发生再次打火的概率。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力,推动我国自主知识产权新工业的建立,成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统,由九个研究平台,国科大深圳先进技术学院,多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究,促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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