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一种柔性薄膜的分层磁控溅射镀膜装置及其制备方法

发布时间: 2023-06-25

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 作价入股
成果类型： 发明专利,实用新型专利
行业领域：
电子信息技术
成果介绍
本发明涉及柔性电子技术领域，具体涉及一种柔性薄膜的分层磁控溅射镀膜装置及其制备方法。
成果亮点
本发明通过对镀膜进行分层磁控溅射的方式，能更好的细化每一层膜的镀膜质量，配合可分离的支撑板，进一步降低表面针孔率和防止裂纹产生，提高镀膜的整体性能。分层膜镀膜并对每一层膜进行消除静电的处理，提高后续金属粒子附着力，还能有效减少每一层溅射薄膜上的带电粒子，防止产生静电作用吸附腔体中的其他杂质粉末造成薄膜样品表面出现针孔，不仅提高了薄膜的致密性，还大大减少了裂纹，提高镀膜的稳定性和可靠性；同时在基片分层镀膜中，每一次镀膜前都进行拉伸，能有效平衡晶粒生长和薄膜与基材模量不同造成的应力，提高镀膜质量。
团队介绍
程琦，闫宗楷，赵攀峰，刘辰璐，彭春泉
成果资料