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一种用于压电薄膜原位极化工艺的双栅极极化设备

发布时间: 2023-06-25

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 发明专利,新技术
行业领域：
新材料技术
成果介绍
本实用新型公开了一种用于压电薄膜原位极化工艺的双栅极极化设备，属于压电材料极化技术领域。
成果亮点
该极化设备包括支撑结构、金属旋转基板、待极化件、上源极、上栅极、下源极、下栅极。本实用新型在待极化件的上下两侧设置双栅极结构，能够产生更大的极化电场，使压电薄膜中的电畴更快完成取向排列，提升了极化速度，减少了极化处理的时间；上源极和下源极采用圆形实心金属板，上栅极和下栅极采用设置有均匀网格结构的金属圆盘，增加了放电位置的数量，提高了等离子体的产生效率，进一步减少了极化时间；此外，通过设置金属旋转基板，保证了压电薄膜极化的均匀性。
团队介绍
潘思怡，史航宇，邢天宇，陈昭如，胡潇然，钟乐黎，王硕，张祖祺
成果资料