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一种线光谱共焦轮廓测量传感器及方法

发布时间: 2023-06-25

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 发明专利,新技术
行业领域：
电子信息技术
成果介绍
本发明属于电子制造精密测量领域，并公开了一种线光谱共焦轮廓测量传感器。
成果亮点
该传感器包括光源、双轴共焦单元和成像单元，其中，光源用于提供线光源；双轴共焦单元用于将光源发出的光照射在待测样品表面并将待测样品的反射光聚焦于狭缝形成共焦结构，其包括第一线性色散模块、第二线性色散模块和狭缝；成像单元用于将来自双轴共焦单元的光色散共焦成像在相机上，得到待测样品的轮廓像，利用虚拟双缝差分算法对轮廓像进行处理，减小轴向响应曲线半峰宽，从而得到较高轴向分辨率和信噪比的三维表面形貌，以此实现待测样品的测量。通过本发明，解决双轴线光谱共焦轮廓传感器测量范围与分辨率适应性灵活调整问题，提高了传感器的轴向分辨率和信噪比。
团队介绍
刘晓军，王帅
成果资料