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一种基于范德华接触金属电极的二维薄膜材料器件制备方法

发布时间: 2023-06-19

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 作价入股
成果类型： 发明专利,实用新型专利
行业领域：
新材料技术
成果介绍
本发明属于光电子器件制造领域，具体涉及一种基于范德华接触金属电极的二维薄膜材料器件制备方法，包括：在衬底上旋涂光刻胶并进行烘烤处理；将涂好光刻胶的衬底进行曝光和掩膜，并进行显影；对显影完的衬底进行金属电极沉积；将PMMA旋涂在预先沉积了金属电极的衬底上，并加热成膜状；将带有金属电极的膜状PMMA揭下，并转移到旋涂有PDMS的载玻片上；将载玻片固定到3D转移平台上，通过观察光学显微镜上的图像将金属薄膜电极微区对准，生长得到范德华电极晶体管；对范德华电极晶体管进行退火和去杂处理。
成果亮点
本发明制备金属电极器件能有效地保护器件电极的金属/二维材料界面，因而具有更好的器件可靠性和良好的电学和光电特性。
团队介绍
陈思凯，赵洪泉，石轩，王春香
成果资料