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本发明公开了一种角度传感器及其制作工艺，所述角度传感器包括嵌套设置的转子(1)和定子底座(2)，在所述转子(1)的上表面设置有传感器防护板(3)，在所述定子底座(2)的中心设置有磁敏感单元，所述转子(1)以磁敏感单元为中心绕定子底座，实现360°的转动。所述第一磁敏感单元以多层膜巨磁电阻作为主要磁敏感元件，第二磁敏感单元为霍尔元件。本发明公开的角度传感器制作工艺，通过微电子工艺和磁控溅射方法相结合，并结合3D打印技术实现了传感器的封装，操作简单，可实现传感器的小型化，易于批量生产，在汽车转向系统、风速测量、流速测量等方面皆有良好的应用前景。

(1)本发明提供的角度传感器，通过第一磁敏感单元(以巨磁电阻作为磁敏感元件)和第二磁敏感单元(以霍尔元件作为磁敏感元件)相结合，实现了测量范围为360°的角度测量； (2)本发明提供的角度传感器，将磁敏感单元和产生磁场的小磁铁分别置于定子底座与转子中，在测量角度时，可实现角度传感器与外界的无接触测量，避免了引线的缠绕问题； (3)本发明提供的角度传感器，将防护板小磁铁按照相同磁敏感方向设置，在转子旋转过程中，使第二磁敏感单元在0～180°、180～360°角度范围内分别输出正、负电压信号，从而将角度传感器的角度测量范围从180°扩展到360°； (4)本发明提供的角度传感器，通过设置巨磁电阻与扩散电阻电路结构，能够对巨磁电阻的温度漂移进行补偿； (5)本发明提供的角度传感器的制作工艺，通过微电子工艺和磁控溅射方法实现了磁敏感单元的制作，并结合3D打印技术实现了传感器的封装，操作简单，可实现传感器的小型化，易于批量生产。

黑龙江大学（Heilongjiang University），位于黑龙江省哈尔滨市，是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学，黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校，入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地，是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位。

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