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电子信息技术,信息安全技术,新型电子元器件

本发明提供了一种基于脉冲交替法的激光加工实时成像装置，包括激光加工单元、照明单元、实时显微成像单元和控制单元，其中，激光加工单元用于发射激光脉冲，并在激光脉冲高电平时利用激光对工件进行加工；照明单元用于产生照明光，并对工件加工区域进行照射；控制单元连接所述激光加工单元和所述实时显微成像单元，将实时显微成像单元用于在所述图像采集信号的控制下对工件加工区域进行实时显微成像，并将采集的图像发送至所述控制单元。

本发明的激光加工实时成像方法可以根据不同激光脉冲频率调整相邻两个激光脉冲之间的CCD帧频，其成像帧频不受激光脉冲频率的影响，可以维持25帧/秒以上的连续视频图像采集。这一特征有助于根据实时观测到的不同样品特性(材料、薄厚等)下的样品加工效果，动态调整加工激光脉冲频率与占空比，针对不同的样品特性，选择合适的加工激光脉冲频率与占空比，避免对样品的过度加工导致损伤等不良影响。本发明基于脉冲交替法的激光加工实时成像装置控制激光脉冲作用与图像曝光采用交替方式进行，有效避免了CCD受到加工激光的干扰甚至使CCD处于饱和状态，改善了CCD相机的成像效果；在脉冲激光作用的间隙完成对样品的显微成像，可以减小激光加工对样品的热积累效应，并同时获得加工样品的形貌信息，能够及时调整加工参数，最终有望实现智能加工。

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