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本发明提供的一种半导体器件可靠性测试方法及装置，通过提供一整套理论、仿真、实验三位一体的器件纳米级分析其具体的毁伤机理的方法，根据该方法可以分析高电子迁移率晶体管、互补金属氧化物半导体、双极结型晶体管等的损伤机制，为后期的器件结构优化及可靠性加固提供指导作用，从底层上了解芯片的毁伤机理，为后期的同等规模级别芯片产品优化和鲁棒性的提高起到明显改善的作用。

本发明提供的一种半导体器件可靠性测试方法及装置，通过提供一整套理论、仿真、实验三位一体的器件纳米级分析其具体的毁伤机理的方法，此法为后期的器件结构优化及可靠性加固提供指导作用，从底层上了解芯片的毁伤机理，也为后期的同等规模级别芯片产品优化和鲁棒性的提高起到明显改善的作用。本发明提供的一种半导体器件可靠性测试方法及装置，通过提供一整套理论、仿真、实验三位一体的器件纳米级分析其具体的毁伤机理的方法，此法为后期的器件结构优化及可靠性加固提供指导作用，从底层上了解芯片的毁伤机理，也为后期的同等规模级别芯片产品优化和鲁棒性的提高起到明显改善的作用。

宁波大学现有学科涵盖经、法、教、文、史、理、工、农、医、管等十大门类。设有19个学院,拥有3个博士授权点,2个一级学科硕士点,54个二级学科硕士点,现有农业推广硕士、工商管理硕士(MBA)、法律硕士(***)、公共管理硕士(MPA)、教育硕士(MEA)、工程硕士(电子与通信工程、机械工程、食品工程)等6个专业硕士学位点和高等学校教师在职攻读硕士学位授权资格,其中工商管理硕士(MBA)、法律硕士(***)招收全国联考专业学位硕士研究生,71个本科专业。建有1个国家重点实验室培育基地,1个省部共建教育部重点实验室,1个教育部工程研究中心,1个国家体育总局体育社科研究基地,1个省社会科学重点研究基地,2个浙江省重点实验室,2个浙江省高新技术研究开发中心,10个宁波市重点实验室,3个宁波市工程技术中心和一批科研机构;建有13个省重点学科,其中省“重中之重”学科4个,省属高校人文社会科学重点研究基地2个;省重点专业9个,省重点建设专业5个,市重点专业4个,市重点建设专业14个,已基本形成综合性大学的学科建设体系和优势特色学科群。