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本发明涉及一种基于同轴硅通孔工艺的三维片上环形定向耦合器，包括：自上而下依次层叠设置的顶部布线层、衬底层和底部布线层，顶部布线层设置在衬底层的上表面，底部布线层设置在衬底层的下表面，顶部布线层内设置有顶部互连线，衬底层内垂直贯穿设置有若干TSV通孔和若干同轴TSV通孔，底部布线层内设置有底部互连线。

本发明中顶部第一导体111的形状为L形，顶部第二导体112的形状为矩形，顶部第三导体113的形状为顺时针旋转270度的L形，其中心位置处有引出端，以便与第三端口133连接，顶部第四导体114的形状为顺时针旋转90度的L形，其中，L1＝L2＝L3＝L4＝145μm，设置导体宽度为42μm。本发明基于同轴硅通孔工艺的三维片上环形定向耦合器，利用了同轴TSV内外层间的耦合特性并将其与衬底上下两部分多层布线交替连接，对电路拓扑中的耦合部分进行了等效，实现了1至4端口间结构的三维化，该结构相较于传统的耦合微带线结构其特性调整灵活度更高，减少了最小线间距等工艺限制的影响；

宁波大学现有学科涵盖经、法、教、文、史、理、工、农、医、管等十大门类。设有19个学院,拥有3个博士授权点,2个一级学科硕士点,54个二级学科硕士点,现有农业推广硕士、工商管理硕士(MBA)、法律硕士(***)、公共管理硕士(MPA)、教育硕士(MEA)、工程硕士(电子与通信工程、机械工程、食品工程)等6个专业硕士学位点和高等学校教师在职攻读硕士学位授权资格,其中工商管理硕士(MBA)、法律硕士(***)招收全国联考专业学位硕士研究生,71个本科专业。建有1个国家重点实验室培育基地,1个省部共建教育部重点实验室,1个教育部工程研究中心,1个国家体育总局体育社科研究基地,1个省社会科学重点研究基地,2个浙江省重点实验室,2个浙江省高新技术研究开发中心,10个宁波市重点实验室,3个宁波市工程技术中心和一批科研机构;建有13个省重点学科,其中省“重中之重”学科4个,省属高校人文社会科学重点研究基地2个;省重点专业9个,省重点建设专业5个,市重点专业4个,市重点建设专业14个,已基本形成综合性大学的学科建设体系和优势特色学科群。