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红外线光辅助PECVD设备

发布时间: 2022-12-09

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式: 技术转让
成果类型: 实用新型专利
行业领域:
高新技术改造传统产业,高性能、智能化仪器仪表,先进制造技术
成果介绍
本实用新型采用了如下技术方案: 红外线光辅助PECVD设备,包括红外线激光发生器和与红外线激光发生器相连接的反应室,所述红外线激光发生器的发射端连接有光纤,所述光纤的另一端设置有激光器,所述激光器的底部中心处设置有与光纤一端相连接的聚焦镜,所述激光器的底面设置有环形槽,所述环形槽中等距离间隔设置有定位激光灯,且定位激光灯的发射端均朝下设置;
成果亮点
本实用新型公开了红外线光辅助PECVD设备,包括红外线激光发生器和与红外线激光发生器相连接的反应室,所述红外线激光发生器的发射端连接有光纤,所述光纤的另一端设置有激光器,所述激光器的底部中心处设置有与光纤一端相连接的聚焦镜,所述激光器的底面设置有环形槽,所述环形槽中等距离间隔设置有定位激光灯,且定位激光灯的发射端均朝下设置;所述激光器安装在三轴位移机构的移动端上,所述第二电动滑台的滑动端固定配合有竖向的推杆电机,所述推杆电机的活塞端固定配合有激光器。本实用新型结构合理,设计巧妙,方便夹持,方便定位,可以调节位置,适合推广使用。
团队介绍
荆楚理工学院(Jingchu University of Technology)简称“荆楚理工”,位于湖北省荆门市,学院于2007年3月经教育部批准由初创于1956年的沙洋师范高等专科学校和始建于1984年的荆门职业技术学院合并组建而成, [2] 是一所省属公办全日制普通本科高等学校,为湖北省首批地方本科院校转型发展试点学校、“湖北省2011计划”首批牵头高校,“实行“省市(荆门)共建、以省为主”的管理体制。 截至2022年3月,学院占地面积2400余亩,校舍建筑面积***余万平方米;设有16个教学学院(部),开设本科专业43个,专科专业15个,涵盖理、工、农、医、文、教、管、艺等8大学科门类;在编教职工1134人,有教授、副教授等高级职称人员342人,博士、硕士678人。享受国务院及湖北省政府特殊津贴的专家4人;有全日制普通在校生19615人,其中本科生13998人。
成果资料
产业化落地方案
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