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高端装备制造产业

本项目将研发基于气浴温控为核心方案的超稳定微环境 控制系统产品。 与传统洁净室方案相比，超稳定微环境控制系统是在小区域内建 立高等级微环境，可以实现更高控制指标的同时大幅节省成本。 与恒温水循环温控方案相比，本方案可以节约 50%的成本，更适 用于对如光刻机等外形结构复杂的设备进行温度控制，也可适应更大 的热负荷。

传统的精密温控方案大多采用恒温水浴技术，其核心装置 TCU 模块价格高昂，一个 TCU 模块的售价通常高达 30-40 万，本项目采用 气浴温控技术，相较于恒温水浴技术，可以节约 50%的成本。同时由 于光刻实验平台的外形结构复杂，不同区域的温度精度要求不一且若 跟液体直接接触带来的危害过大，最佳的环境温度控制方式即为气浴 方式：向指定区域吹出恒定温度且气流稳定的气体来实现温度的控制。

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