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衬底

发布时间: 2022-11-25

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 实用新型专利
行业领域：
物理
成果介绍
本实用新型实施方式公开了一种衬底，属于薄膜领域的技术方案，其核心在于所述衬底包括相对布置的测量面和镀膜面，所述测量面为抛光面；此方案可采用光杠杆法对所述衬底的测量面进行曲率半径测量，得出R'0(镀薄膜前)和R'(镀薄膜后)，最后代入薄膜应力计算公式便可得出薄膜应力σ，此方法对薄膜的反光能力并无要求，只要保证衬底的测量面为抛光面，便可应用光杆杠法得出薄膜应力σ，解决现有技术必须薄膜实现反光才能测量薄膜应力的问题。
成果亮点
1. 一种衬底，其特征在于，所述衬底包括相对布置的测量面和镀膜面，所述测量面为抛 光面。 2. 根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述衬底的厚度为***〜1mm。 3. 根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述测量面为化学抛光处理形成的抛光 面。 4. 根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述测量面的粗糙度小于***μπι。 5. 根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述镀膜面为经过镀膜预处理的镀膜面
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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成果综合评价报告

评价单位：- (-) 评价时间：2023-01-05

吴正斌

天津中科先进技术产业有限公司

总经理

综合评价

这个企业已经有一定的基础，建议与相关学会组织搭建平台，请学会以及研究所、大学和相关企业参与，可能会攻克难关，会对我们国家甚至世界所存在问题提出解决的措施并做出贡献，前途可期。
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