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关于等离子体镀膜装置专利技术独占许可实施

发布时间: 2022-11-18

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 实用新型专利
行业领域：
新材料技术,新能源及节能技术
成果介绍
该等离子体装置，通过等离子镀膜机为放电箱的内部提供放电等离子，使蒸发箱内金属尽可能全部蒸发，得到气体离子分别通过混合管和中间管混合进入连接管。对原料利用提升，沉积的薄膜质量提升，产品的成品率上升，公司的在行业竞争力有一定提升。
成果亮点
1. 设备改进后，蒸发源加入完全等离子装置，蒸发能量结构及范围提升。设备操作界面更加灵活，镀源可选择的范围增加。 2. 原料利用率提升，成本降低——蒸发源加入完全等离子装置改进后，蒸发箱内金属尽可能全部蒸发，便于蒸发原料尽可能全部金属进入混合管内。 3. 管道设置多级管道，使蒸发的气体离子能够尽可能全部的进过多级吸收到中间管到达混合管混合，再经加速器快速转移到到腔室，反应沉底生成需要的薄膜。 4. 镀源经等离子化后，反应离子尺寸跟小，经后面的管道加入后，离子能量更高，镀出的薄膜致密性，粘附性得到提升。
团队介绍
光电材料课题组；主要研究光电转化新材料合成、薄膜工艺改进方法以及和光电材料性能的改进途径等方面。 团队成员：8人，博士6名，硕士2名。 详细研究内容：（1）超级电容器电极功高分子能薄膜材料结构，镀膜工艺的研究 (2)农药残留光催化降解材料合成工艺的研究。（3）光电电解是半导体功能薄膜结构的构建，合成工艺及性能提升的研究。 成果：发表论文20余篇，期中sci有12篇,EI有5篇，核心5篇。取得省级项目4项。
成果资料