科创中国
陶瓷MEMS传感器
发布时间: 2022-11-17
来源: 科技服务团
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
新技术
行业领域：
新一代信息技术产业,互联网与云计算、大数据服务
成果介绍
在电力、冶金、石油、化工等行业，需要大量的传感器作为信息监测部件，传统硅 MEMS 传感器的耐腐蚀、抗污染性能较弱，难以满足应用环境恶劣的工程需求。陶瓷 MEMS 传感器具有耐高温、抗腐蚀特点，成为当下国际研究热点，同时成为恶劣环境应用的最佳产品解决方案。该成果属于信息领域，用于检测环境气体含量浓度信息、工业装备的重要部位的温度、压力信息，传感器主体采用微电子技术实现传感器的制造生产。该技术已完成了科技成果的实际产品设计制造，制造样件经过了实验室的性能测试，并模拟实际应用环境，开展了应用验证，通过了验证级实验考核。该成果可应用与水力发电、火力发电、风力发电、核能发电等领域，也可以应用轮船、火车、汽车等交通领域，对应用环境中的泄露危险气体实施检测监测，对重点部位实施温度压力信息检测
成果亮点
该技术已完成了科技成果的实际产品设计制造，制造样件经过了实验室的性能测试，并模拟实际应用环境，开展了应用验证，通过了验证级实验考核。该成果可应用与水力发电、火力发电、风力发电、核能发电等领域，也可以应用轮船、火车、汽车等交通领域，对应用环境中的泄露危险气体实施检测监测，对重点部位实施温度压力信息检测。气体传感器成本 70 元 / 只，售价 120 元 / 只。温度压力集成传感器成本 270 元 / 只，售价 470 元 / 只，若
中小型生产能力，年产 20 万只，产值在 5000-6000 万 , 利润 1200-1500 万元。
团队介绍
哈尔滨工程大学（Harbin Engineering University），简称“哈工程”，位于黑龙江省哈尔滨市，是中华人民共和国工业和信息化部直属的全国重点大学，工业和信息化部、教育部、黑龙江省、哈尔滨市、海军共建高校，位列“双一流”、“211工程”、入选“985工程优势学科创新平台”、“111计划”、卓越工程师教育培养计划、国家大学生创新性实验计划、国家建设高水平大学公派研究生项目、国家级新工科研究与实践项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国首批深化创新创业教育改革示范高校、国家大学生文化素质教育基地、国家创新人才培养示范基地、全国高校实践育人创新创业基地，工业和信息化部高校联盟、北极大学联盟、CDIO工程教育联盟、中俄工科大学联盟成员单位，国际船舶与海洋工程创新与合作联盟牵头单位，被教育部、总政治部列入“21世纪人才强军计划”。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”黑龙江科技服务团 (黑龙江省科学技术协会) 评价时间：2023-11-12
评价单位：“科创中国”黑龙江科技服务团 (黑龙江省科学技术协会) 评价时间：2022-11-30
郭平
黑龙江省创新创业促进会
会长
综合评价
压电单晶是指按晶体空间点阵长程有序生长而成的晶体。这种晶体结构无对称中心，因此具有压电性。如石英晶体、镓酸锂、锗酸锂、锗酸钛以及铁晶体管铌酸锂、钽酸锂等。压电单晶材料的生长方法包括水热法、提拉法、坩埚下降法和泡生法等。压电薄膜材料是原子或原子团经过或溅射的方法沉积在衬底上而形成的，其结构可以是费静态、多晶甚至是单晶。压电薄膜制备的器件不需要使用价格昂贵的压电单晶，只要在衬底上沉积一层很薄的压电材料，因而具有经济和省料的特点。而且制备薄膜过程中按照一定取向来沉积薄膜，不需要进行极化定向和切割等工艺。另外，利用压电薄膜制备的器件应用范围广泛、制作简单、成本低廉，同时其能量转换效率高，还能与半导体工艺集成，符合压电器件微型化和集成化的趋势。
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