科创中国
亚表面损伤测量与控制
发布时间: 2022-11-16
来源: 科技服务团
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
电子信息技术
成果介绍
高精元件广泛应用于能源、空间、国防装备、集成电路与MEMS等领域，亚表面损伤的存在会极大地影响高精元件的光学、机械性能。目前关于亚表面损伤层微裂纹的相关检测和表征尚无成熟的快速定量测量方法，本成果旨在提出亚表面损伤层测量与控制方法，对亚表面损伤的深度、角度和方向进行定量评估，为超精密元件的无损伤及近无损伤加工提供依据。
成果亮点
(1)研究了人工制作微裂纹、磨削抛光等具有亚表面损伤的表面在腐蚀过程中的形貌和粗糙度及对应的微裂纹参数的变化规律，在此基础上利用化学刻蚀辅助装置提高亚表面损伤深度值测量精度，提出一种快速准确测量亚表面损伤深度、角度和方向的方法，并有效减少刻蚀过程中产生的沉积物，大大降低了其对刻蚀及测量的影响。
(2)提出一种基于湿法腐蚀工艺的硅片正面微结构保护装置及方法，该方法可用于降低产品粗糙度，从而减少亚表面损伤。保护装置安全简便，可批量腐蚀硅片，提高腐蚀效率，有效防止硅片正面受到腐蚀液的伤害，可操作性好。
团队介绍
微纳气体传感技术与应用团队，是西安交通大学专门从事MEMS技术、微纳气体传感器及微色谱技术等研究的科研队伍，已主持完成863项目、国家自然科学基金项目、国家重点产品研发计划及省部级项目数十项。团队已发表文章160余篇，其中SCI收录80篇。已申请国家发明专利50项，其中已获授权40项。
团队致力于微纳气体检测技术与传感器研究，针对物联网技术中气体传感器对功耗、稳定性的严苛要求，采用独有的掺杂、集成工艺、纳米材料制备技术，在解决微纳集成工艺难题的基础上，研制mW级超低功耗微纳气体传感器。针对呼吸气体种类的多样性和超低浓度特点，研究10ppb超低检测限的微型代谢呼吸气体检测仪和微纳气相色谱芯片，实现多种疾病呼出气体的分离和精确检测，解决呼吸气体挥发有机气体检测中的选择性、检测限、灵敏度、响应性与精度等方面高要求的难题。已获教育部科技进步一等奖1项，北京市科技进步二等奖1项。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2022-12-22
李树刚
西安科技大学
副校长
综合评价
该技术创新性很强，且技术成熟，投资回报比较可靠。总体而言，该项技术思路方向很好，未来市场空间较大，有利于当前政策要求，转化成熟度高，值得支持推广。建议强化相应产品开发，加大产业链开发力度。
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