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一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制方法及装置

发布时间: 2022-11-12

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
电子信息技术,新型电子元器件
成果介绍
本技术的目的是在于提供了一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制方法，该方法简单、高效、成本低，操作简单。被动光学反馈控制利用激光作用在微电子机械传感器上的热辐射力作为控制微电子机械传感器运动的反馈控制力，具有很高的控制效率，可以显著改善微电子机械传感器的动态性能，降低微电子机械传感器的测量噪声，提高微电子机械传感器的响应速度，尤其适合对极高灵敏度微电子机械传感器的优化控制。 本技术的另一个目的是在于提供了一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制的装置，这种控制装置结构简单，成本低。而且由于这种控制装置的组要控制部件为光学部件，使得这种控制装置具备良好的抗外界电磁干扰的能力，不易在微电子机械传感器测量系统中引入额外的控制系统噪声。
成果亮点
本技术使用被动光学反馈控制系统实现微电子机械传感器优化控制的方法，该控制方法的控制效果完全不依赖于微电子机械传感器振动测量信号信噪比，而且有很好的抗外界电磁干扰性能，对控制系统的技术要求低、易于实现。在利用传统的电子主动反馈控制方法实现微电子机械传感器的优化控制时，为了保证反馈系统具有高的工作稳定性、尽量减小有反馈系统引入的噪声产生，需要根据控制源设计复杂的反馈电路。本发明在获得稳定高效的微电子机械传感器优化控制效果的同时，免除了复杂的电路的设计，由于使用了被动的振动控制机理，在最大限度上降低了反馈系统引入的噪声。而且这种控制不依照微电子机械传感器振动测量信号做出响应，即使在测量信噪比很低的情况下这种控制方法依然能够获得很好的控制效果。
团队介绍
曹更玉，男，博士，研究员，1984山东师大化学系，获理学学士学位；1991中科院大连化学物理研究所获理学硕士与博士学位；1991-1997：中国科学院大连化学物理研究所助理研究员、副研究员；1997-2000，日本北海道大学触媒研究中心NEDO博士后、CEO研究员。2000-2006，中国科学技术大学化学物理系、合肥微尺度物质科学国家实验室教授、博士生导师。在J. Phys. Chem, PCCP, Surf. Sci., Molecular Catal. Chem. Phys. Lett，Colloids and Surfaces A等杂志发表研究论文40余篇。
成果资料
产业化落地方案
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