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关键尺寸量测设备CD-SEM

发布时间: 2022-11-03

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 股权融资
成果类型： 发明专利
行业领域：
电子信息技术
成果介绍
关键尺寸量测设备(Critical Dimension Scanning Electron Microscope,简称CD-SEM)，通过对电子束显微图像进行关键尺寸量测，实现关键工艺参数的监控，是芯片制造过程中质量控制的关键设备。关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c410）面向300mm硅片工艺制程，通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案，搭配精准的量测算法，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备性能，向产业化目标整体迈进。
成果亮点
东方晶源自成立以来，专注于芯片制造关键环节的良率控制和提升领域。在北京市经信委、亦庄管委会、合作伙伴和投资方的共同支持下，不断取得重要产品技术突破，公司旗下计算光刻系列软件（OPC）、电子束缺陷检测设备（EBI）均已经过国际大厂产线验证并实现订单收入，在国产化设备领域取得了瞩目的成绩。此次出机，东方晶源在良率控制产品线添加了至关重要的一环，也解决了我国在芯片制造领域中又一项“卡脖子”难题。中芯国际与东方晶源作为各自领域的优秀代表，进一步加强了战略合作关系，是半导体产业链上下游产研与应用合作的典范。
团队介绍
作为高新技术企业，人才是根本。东方晶源研发人员占比近70%，8%拥有博士学位，53%拥有硕士学位。其中，北京市海聚2人，亦麒麟人才3人。核心成员拥有美国硅谷、日本和欧洲等世界一流半导体科技公司的产品研发和管理经验。
成果资料
产业化落地方案
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