科创中国
高分辨半导体显示器件及装备
发布时间: 2022-10-08
来源: 科技服务团
基本信息
合作方式：
合作开发
成果类型：
发明专利
行业领域：
新材料技术
成果介绍
高精细图案化技术是实现平板显示产业向高分辨率、大开口率、高性能特性、柔性显示等高新技术关键技术。结合本单位开发的柔性显示电子级PI材料及制备技术，已推广应用于柔性显示屏的开发，以及高分辨医用平板探测器研发。由上海高校和公司协同研发出了200*200mm型高精细平板显示用光刻机，解决了对位Mark 图形算法、对位 Mark 机器识别、柔性 TFT 基板翘曲对位等关键技术难题，实现了曝光精度2um、套刻精度±***的技术能力，为高精细平板显示用光刻机装备开发奠定技术基础；由上海高校联合公司协同研发出了基于氧化物半导体技术的高分辨医用平板探测器，掌握了医用平板探测技术高分辨制备核心工艺与技术。
成果亮点
自主开发用于平板显示高分辨率柔性显示光刻工艺及装备，以及高分辨医用平板探测器工艺协同开发：（1）柔性基板光刻装备开发，解决柔性基板翘曲引入的对位误差、离焦等工艺缺陷；（2）柔性高分辨技术，基于平板显示高分辨率柔性显示光刻装备，开发高分辨、高对位精度图形化；（3）高分辨膜层技术，可开发特殊膜层下高分辨膜层工艺；（4）氧化物半导体层工艺开发与应用，提升平板探测的分辨率及探测精度。高分辨显示技术是未来主要的显示技术之一，更高分辨率技术可扩展显示技术在AR/VR、智能医疗、远程会议、智慧显示终端、新材料高分辨制备等多领域得到广泛的应用，具有十分广阔的应用前景。
团队介绍
该项目为上海某高校微电子学院的研究成果，团队主要负责人为讲师，其主要研究方向是够设计针对微电子器件、集成电路和先进传感方面复杂工程问题的解决方案，设计满足特定需求的电路系统、器件及工艺流程，在国内外发表了多篇学术研究论文。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”技术交易专业科技服务团（上海） (上海技术交易所有限公司) 评价时间：2022-10-12
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