科创中国

电子信息技术,微电子技术

本项目依托于我们在光刻机制造领域相关核心技术的经验和积 累，自主研发了具有完全自主知识产权的大行程超精密对准装置。掌 握了大量程超精密测量，大行程柔性操控平台设计、精密控制与补偿、 精密系统标定与集成等核心技术。突破了国内现有精密检测和精密驱 动技术的极限，实现了2nm 以内动态跟踪精度，1nm 以内重复定位 精度（亚纳米分辨率）、50Hz 以上动态跟踪带宽（系统带宽远高于 50Hz），行程近百微米。 系统样机已在相关工程实践中反复验证（六级成熟度），打破了 现有技术壁垒。该样机成本可控，实现条件不苛刻，易满足成本可控 的接口定制化需求，并且精度和行程还可进一步大幅度拓展。 本项目的开展将对我国该领域突破技术壁垒，保障尖端装备关键 技术自主可控，提升国际竞争力具有重要作用。在高端装备关键技术 实现自主可控和国产化替代的大趋势下，该技术市场需求巨大。

超精密测量技术该技术依托独有的光、电检测网络以及信息融 合技术，现已经实现成本可控的大量程精密测量。在技术优势方面， 以纳米探针台为例，对比采用成本高昂的扫描电镜（SEM）进行对准 测量，本技术在保持性能与可靠性的前提下可以为其节省70%以上的 硬件开销。 大行程精密柔性操控平台目前市面上常用的精密操控平台由平 面电机和直线电机组合方案所主导。然而该类方案成本高昂且对于加 工及电子适配要求极高。利用特殊优化后的精密柔性操控平台，我们 已达到不低于任何现有方案的运动精密度，在保持性能与可靠性的前 提下节省80%以上的硬件开销。 精密控制与补偿技术纳米级别的精准定位需要精准的动态补偿 技术和一体化的高效控制。该技术采用独有的结构补偿方案和信号处 理方法，因而可抵消或抑制多类噪声的影响。技术中软硬件相互加密， 技术隐蔽性好。 精密系统标定与集成技术我们通过该技术极大消减系统误差， 使得每一个精密器件的功效发挥到极致。在最大限度提高精度的同时 有效减小系统成本。该技术软硬件相互适配，保持极高的技术壁垒。

：超精密光机电系统研究团队依托于激光与物质相互作 用国家重点实验室、军用固体激光技术国家重点实验室、教育部重点 实验室—电子装备结构设计实验室、111 创新引智基地—电子装备机 电耦合理论与关键技术、新型激光器与光信息处理省重点实验室，陕 西省重点学科—机械电子工程以及国家级综合工程训练中心，有良好 的科研环境。项目团队长期从事精密检测，精密驱动和精密传动等领 域的装备研发，团队成员均参与过国家重点、国防预研等国家级或军 工类项目，具有高度的责任心和科研能力，为项目的顺利实施提供了 有力的保障。

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