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一种基于等离子体的碳纳米管材料氟化装置及其使用方法

发布时间: 2022-09-26

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利,商标权,新品种,外观设计,新技术
行业领域：
高新技术改造传统产业,先进制造技术,新型机械
成果介绍
本发明公开了一种基于等离子体的碳纳米管材料氟化装置及其使用方法,将装有碳纳米管材料的绝缘托盘置于平行平板电极中心,电极整体置于密闭腔室内,随后抽至真空,匀速通入CF4气体,采用射频电源供电使得CF4电离产生等离子体。绝缘托盘底部设有超声波振动片,产生高频机械振动用于分散碳纳米管材料。高压电极为网状结构,一方面在电极之间形成可自由扩散的等离子体区域,另一方面阻挡碳纳米管材料,避免其逸出等离子体区域。用此装置制备氟化碳纳米管不仅可以实现大量碳纳米管的氟化处理,且处理后的氟化碳纳米管效果均匀性好,处理周期短,生产成本较低,安全性高,氟化处理装置结构简单,实用性强。
成果亮点
高压电极采用铜网结构覆于绝缘托盘之上，能够避免碳纳米管因震荡从上方或托盘沿边处向外飘散，可有效减少碳纳米管材料的损耗，保证良好的氟化效果。采用射频电源，一方面，能够在低气压下产生稳定的大面积等离子体区域，等离子体密度约为1016m-3。另一方面，射频电源的技术成熟，成本低，可实现多频段多功率的选择。将碳纳米管置于绝缘托盘上，关紧真空腔的腔体阀门，打开真空泵，对真空腔进行抽真空至压力<15Pa，然后打开CF4储气罐，向真空腔内均匀通入CF4，进行洗气，避免腔体内其他气体在放电时对碳纳米管进行改性，确保真空腔内氟源的高纯度。
团队介绍
发明人： 葛凯颖 张冠军 王超 李文栋 张宇程 李金殊 西安交通大学是我国最早兴办、享誉海内外的著名高等学府，是教育部直属重点大学。西迁以来，一代代交大人扎根西部、服务国家，为西部发展和国家建设作出了卓越贡献，以实际行动铸就了第一批纳入中国共产党人精神谱系的西迁精神。2017年12月，习近平总书记对学校15位老教授来信作出重要指示。在2018年新年贺词中，习近平总书记再次提到“西安交大西迁的老教授”。2020年4月22日，习近平总书记来校考察并发表重要讲话，强调西迁精神的核心是爱国主义，精髓是听党指挥跟党走，与党和国家、与民族和人民同呼吸、共命运，勉励师生在新时代创造属于我们这代人的历史功绩，给全校师生以巨大关怀和极大鼓舞，为学校新时代建设中国特色世界一流大学提供了根本遵循和行动指南。
成果资料
产业化落地方案
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成果综合评价报告

评价单位：- (-) 评价时间：2023-10-29

李卫斌

西安电子科技大学

教授

综合评价

该技术创新性很强，且技术成熟，投资回报比较可靠。总体而言，该项技术思路方向很好，未来市场空间较大，有利于当前政策要求，转化成熟度高，值得支持推广。建议强化相应产品开发，加大产业链开发力度。
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