成果介绍
当前大多数柔性电子技术是基于平面基底制造后剥离下来,从而呈现曲面化、柔性化,再贴附于人或物表面进行感知(电子皮肤/表皮电子)。
然而,对于复杂的人体内环境(各种细腔道等),甚至工业狭窄管道(航空发动机复杂的油管路等),介入测量时采用平面柔性器件贴附于导管丝上的方式存在极大的封装难题,缺乏有效的直接在超柔细基底上实现微纳传感器的先进集成制造技术。
本项目则旨在开发这样的技术并将其应用在人体呼吸监测上(该技术的一个应用点)。
本成果亮点:
通过基于紫外光的旋转投影曝光技术实现在圆柱形基底上的光刻,在柔细基底(~300微米直径)上完成热阻式流速传感器的高精度微纳加工,该超细传感器可介入鼻腔内,当有鼻孔内气流流过时传感器的电阻会发生敏感变化,从而监测出微弱气流变化,实现对人体呼吸的超敏感测量。
具有如下特征:
1、监测精度高
2、超柔细
3、可便携随身穿戴
4、介入鼻腔式(超柔细无异物感)
团队介绍
杨卓青,上海交通大学博导
目前研究工作主要包括MEMS惯性开关器件、PowerMEMS、封装以及超细柔性纤维/圆管/毛细管等表面的3D MEMS集成制造技术等。先后主持承担国家自然科学青年基金、面上项目,国家重点研发计划课题,国家“863”项目子课题,总装瓶颈项目子课题,教育部装备预研联合基金,上海市“浦江人才计划”项目,以及国家重点实验室开放基金等项目。
近年来,在微机电系统技术(MEMS)领域著名期刊和国际会议IEEE-JMEMS, Adv Mater, Nano Energy, Adv Energy Mater, JMM,Lab Chip, IEEE Trans. Electron Devices, Sensors and Actuators, IEEE MEMS, IEEE NEMS, TRANSDUCERS, IEEE SENSORS, μTAS等发表学术论文120多篇,获得授权中国发明专利20余项。
评价单位:- (-)
评价时间:2022-10-10
综合评价
具有较强的市场应用价值,建议进行推广
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评价单位:“科创中国”智能健康产业科技服务团 (中国睡眠研究会)
评价时间:2022-09-28
综合评价
本成果 创新研发,通过基于紫外光的旋转投影曝光技术实现在圆柱形基底上的光刻,在柔细基底(~300微米直径)上完成热阻式流速传感器的高精度微纳加工,该超细传感器可介入鼻腔内,当有鼻孔内气流流过时传感器的电阻会发生敏感变化,从而监测出微弱气流变化,实现对人体呼吸的超敏感测量。
呼吸睡眠暂停综合症(OSAHS)、肺呼吸功能实时监测 、监测呼吸体征等场景
具有监测精度高、超柔细、可便携随身穿戴、介入鼻腔式(超柔细无异物感)特征,实现对人体呼吸的超敏感测量。等特点优势
期待尽快与对应需求生产企业合作,推动呼吸监测产品领域、狭窄管道监测等产业发展,满足提升人们的生活需求和工业发展需求。
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