科创中国

电子信息技术,微电子技术

本发明属于制造加工相关技术领域，其公开了一种基于激光表面处理的选择性粘附转印方法，所述方法包括以下步骤：(1)对供体基底上的被转印膜进行图案化激光切割，以将所述被转印膜物理分离成图案化的被转印单元及剩余部，同时采用激光对所述剩余部进行表面烧蚀，以使得所述被转印单元及所述剩余部的表面形成粘性差；(2)采用经粘性调整后的印章对所述被转印膜进行转印，使得所述被转印单元被选择性地粘附在所述印章表面，所述剩余部留在所述供体基底上；(3)采用所述印章在可溶性粘性基底上进行所述被转印单元的印刷，以使所述被转印单元自所述印章转移到所述可溶性粘性基底上。本发明高效简便，可实现大规模自动化操作。

转移打印是一套技术，用于将微型和纳米材料确定组装成空间组织的功能安排，并采用二维和三维布局。这些工艺不仅为科学研究的测试结构提供了多功能途径，而且为高性能、异构集成功能系统(包括柔性电子、三维和/或曲线光电子以及生物集成传感和治疗装置)提供了重要途径。 然而，现有的方法在供体基底上形成特定的微结构图案工艺过程复杂，且在转印过程中缺乏易控的选择性转印的机制。为此，有待进一步提出新型的选择性转印方法，高效简便的异质集成电子器件或者构件复杂功能的小尺度驱动系统。

华中科技大学（Huazhong University of Science and Technology），简称华中大、华科大 ，位于湖北省武汉市，是中华人民共和国教育部直属的综合性研究型全国重点大学、位列国家“双一流”、“985工程"、"211工程"、入选"强基计划"、"111计划"、卓越工程师教育培养计划、卓越医生教育培养计划、国家大学生创新性实验计划、国家级大学生创新创业训练计划、国家建设高水平大学公派研究生项目、国家级新工科研究与实践项目、基础学科拔尖学生培养计划***，是学位授权自主审核单位、全国深化创新创业教育改革示范高校、一流网络安全学院建设示范项目高校、中国政府奖学金来华留学生接收院校、教育部来华留学示范基地，为中欧工程教育平台成员和医学“双一流”建设联盟、国际应用科技开发协作网、全球能源互联网大学联盟成员。