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多元氧化物纳米薄膜及薄膜晶体管

发布时间: 2022-09-09

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
新一代信息技术产业,电子核心产业
成果介绍
本课题组利用PLD制备(GaO)x(ln2O3)y(ZnO)多元氧化物纳米薄膜及其为沟道层的薄膜晶体管。釆用固相反应烧结法制备出IGZO陶瓷靶材，并研究烧结温度、颗粒度、药品纯度等参数对成品靶材的物理性质影响；采用脉冲激光沉积法制备出透明氧化物半导体IGZO薄膜，并研究基底温度、靶基距、基底材料等工艺参数对薄膜光学、电学性质以及薄膜结构的影响；测试薄膜厚度、晶格结构、电子价态、表面形貌等；采用PLD完成薄膜制备过程，并完成薄膜晶体管的制备，优化工艺参数，提高器件的整体性能。
成果亮点
本项目研究成果采用有序复合金属氢氧化物前体法,在适当的温度条件下进行固态反应,使其晶体结构向特定的晶型转变形成均匀致密的取向性MMO纳米薄膜，简化了传统多元氧化物纳米薄膜晶体管的制备工艺，解决了其在柔性和大面积方面的局限性，同时实现了多元氧化物纳米薄膜晶体管器件的规模化制备。本发明的优点在于:所制备的MMO纳米薄膜致密均匀,具有取向性,大面积连续；可根据需要调控LDHs前体的层板金属元素种类和组成,得到不同组成及结构的MMO纳米薄膜；无需单晶基片诱导生长,设备要求简单,操作容易。
团队介绍
我校信息学部聚焦电子科学与技术、控制科学与工程、计算机科学与技术、软件工程等研究领域，拥有智能感知与自主控制教育部工程研究中心、数字社区教育部工程研究中心、光电子技术教育部重点实验室、可信计算北京市重点实验室、计算智能与智能系统北京市重点实验室等十余个科研基地，与百度、华为、中国移动、中国联通、中国电信等国际知名企业保持长期产学研合作。
成果资料
产业化落地方案
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