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本发明公开了一种高稳定性的时序信号发生方法及装置，方法包括：根据控制信号选择触发源、设定延时长度与脉冲持续时间；采用计数器延时保存控制数据中的延时周期数设定并作为第一级，采用集成反馈延时链模块并以时钟源的半个周期为全链m级延时总长度，实现延时路径的构建；当触发信号来临，在触发捕获时产生基准信号，主延时路径依此开始两级延时；外触发TDC链测量触发信号与基准信号之间的时差，并根据时差获得需补偿的集成反馈延时链级数；当主延时结束，脉冲沿送入补偿延时，将以内部基准为参考延时的信号转换为以原始触发为参考的固定延时的信号，通过集成反馈延时链消除因捕获产生的脉冲晃动从而输出高稳定性时序信号。

本发明提供的高稳定性的时序信号发生方法，包括下述步骤： (1)接收触发模式选择信号和触发时间控制数据，并根据控制信号选择触发源、设定延时长度与脉冲持续时间； (2)采用计数器延时保存控制数据中的延时周期数设定并作为第一级，采用集成反馈延时链模块并以时钟源的半个周期为全链m级延时总长度，同时保存控制数据中的细延时级数，来构建延时路径； (3)当触发信号来临，在触发捕获时产生基准信号，主延时路径依此开始两级延时；外触发TDC链测量触发信号与基准信号之间的时差，并根据时差获得需补偿的集成反馈延时链级数；搭建“稳定性好、空间跨度小、各级抽头到输出口走线延时一致”的补偿延时路径

华中科技大学，简称华中大，位于湖北省武汉市，是中华人民共和国教育部直属的综合性研究型全国重点大学、位列国家“双一流”、“985工程"、"211工程"、入选"强基计划"、"111计划"、卓越工程师教育培养计划、卓越医生教育培养计划、湖北省2011计划、国家大学生创新性实验计划、国家级大学生创新创业训练计划、国家建设高水平大学公派研究生项目、国家级新工科研究与实践项目、基础学科拔尖学生培养计划***，是学位授权自主审核单位、全国深化创新创业教育改革示范高校、一流网络安全学院建设示范项目高校、中国政府奖学金来华留学生接收院校、教育部来华留学示范基地，为中欧工程教育平台成员和医学“双一流”建设联盟、中国人工智能教育联席会理事单位