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本发明属于微纳加工领域，具体涉及一种用于跨尺度双光子聚合加工的样品精密夹具及调平方法，夹具包括：固定连接的XY轴移动平台、Z轴位移台和基板，设置于基板上的微调组件，过渡组件，以及载物台；过渡组件一端固定于微调组件上、另一端固定载物台；XY轴移动平台用于驱动Z轴位移台和基板沿X轴和Y轴方向移动；Z轴位移台用于驱动基板以带动微调组件、过渡组件和载物台沿Z轴方向移动；微调组件用于通过驱动过渡组件带动载物台实现水平度和平面度调整。本发明使得双光子聚合加工系统实时三维调平精度控制在100纳米以内，有效保证双光子聚合加工系统在进行加工时准确聚焦和加工产物成型精度，将加工尺度从微纳尺度拓宽至毫米和厘米尺度。

采用上述精密夹具并结合所提出的样品调平方法，使双光子聚合设备在高速直写跨尺度样品时，样品的待加工区域始终保持在焦深范围内，从而实现以双光子聚合激光直写为基础的跨尺度高精度微加工，兼顾亚微米尺度的加工精度和厘米级别的整体结构。 本发明还提供一种机器可读存储介质，所述机器可读存储介质存储有机器可执行指令，所述机器可执行指令在被处理器调用和执行时，所述机器可执行指令促使所述处理器实现如上所述的一种用于跨尺度双光子聚合加工的样品调平方法。

熊伟;范旭浩;焦玢璋;刘耘呈;高辉;邓磊敏 熊伟，现为光电国家研究中心教授，光电信息学院激光系兼职教授，光电国家研究中心激光与太赫兹功能实验室主任，国家和湖北省高层次人才项目入选者。熊伟教授在多维度激光微纳制造研究及应用方面开展了一系列开拓性工作，解决了现有加工技术在纳米材料生长、组装和三维成型制造等方面多项难以克服的问题，展示了激光技术在微纳制造领域中的独特优势和巨大前景。近年来其主要研究领域集中在微纳尺度激光3D/4D 打印，纳米功能材料的激光诱导合成与组装，以及非线性超快激光成像与表征等方面，在Advanced Materials、Science Advances、Light：Science &Application、Nano Letters等国际知名期刊发表论文30多篇，申请美国发明专利3项，论文引用率>1000次，在本领域具有重大影响力的国际会议如Photonics West、MRS、ICALEO等报告20多次，其中邀请报告6次。曾获得美国激光协会ICALEO国际会议最佳论文奖，并曾担任美国激光协会ICAELO会议激光纳米加工与制造分会以及POEM2019激光分会主席。