成果介绍
铁电陶瓷与薄膜由于大的电光系数和在可见光及近红外波段区间低的光学损耗,在大规模光电集成电路中的电光幵关、调制器和光波导等器件中具有广泛的应用。光调制器作为光集成器件的核心部分, 用于实现电-光和光-电信号快速转换,是目前学术界和产业界竞相研发的研究领域。该项目基于光波导微纳加工工艺,结合CMOS兼容的制备技术,实现了大宽带、低损耗、高集成度的电光调制器。完善并发展其在微电子和通讯领域的实际应用能力,拓展到可编程的柔性光子电路网络的设计与制造,为未来高速、节能、高效的光信息通讯网络开辟新的途径。
成果亮点
本技术结合了真空薄膜沉积技术和可水溶的缓冲层设计,制备出大尺寸、高质量的无铅铁电单晶。这种方法可以循环使用基片,不仅有效降低了制造成本,而且绿色环保。通过对铁电薄膜的缺陷、界面、中间相、铁电畴在内的多尺度结构进行研究,并建立结构与电光性能关系,研制出大带宽、低损耗、高调制效率、高集成度的铁电薄膜电光调制器。该技术既有制备低成本、高集成度、与CMOS工艺兼容的特点,实现了电光调制器的大调制带宽 (> 50 GHz)、低光损耗 (< 3 dB) 和高调制效率 (< 3 V∙cm)
团队介绍
福州大学物理与信息工程学院成立于2003年5月,由80年代分开的信息与通信工程系(原无线电工程系)和电子科学与应用物理系两系合并组建而成,其前身物理无线电系是福州大学1958年建校时最早成立的五个院系之一,担负着培养物理、电子、通讯等高级人才的任务。学院现有七个系(通信工程系、电子信息工程系、电子科学与技术系、光电信息工程系、微电子系、物理学系和数字媒体与网络工程系),七个本科专业(通信工程、电子信息工程、电子科学与技术、光电信息工程、微电子、应用物理学和数字媒体艺术专业),两个实验中心(物理实验与教学中心、信息技术实验中心)。
成果资料