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本发明公开了纳米材料的可控性热压实现方法，属于纳米材料加工与应用技术领域，包括以下步骤：首先，选择适用于生长纳米材料的原生衬底，制备纳米材料；其次，在理想的目标衬底上制备辅助界面层和热压截止层；再将原生衬底上的纳米材料与目标衬底表面的辅助界面层贴合，通过加热使辅助界面层进行物理或化学反应，在一定压力下，纳米材料对辅助界面层嵌入式接触；最后，冷却装置并移除原生衬底和辅助生长层，采用浸洗剂去除或直接移除热压截止层，即在目标衬底上转移得到所需纳米材料结构。本发明通过制备特定平整度、高度的热压截止层来实现纳米材料在平面衬底上的形貌完整性和均一性，以保证纳米材料物理化学性质的稳定性。

能够取得下列有益效果： 1、本发明通过搭建一种垂直多层结构结合实现热压的辅助装置，能够在过载/浮动的压力下，成功实现热压，保护纳米材料的形貌，避免纳米材料形貌破坏导致的物理、化学性能改变甚至破坏；该方法实现距离的可控，保证纳米材料所需的最佳使用高度； 2、本发明可去除高精度的压力控制模块和压力反馈/检测模块，显著降低热压仪器成本的研发成本，操作简单； 3、本发明通过热压截止层来控制间距，所述热压截止层为通过半导体工艺制备的薄膜或采用打磨制备的光滑材料，其表面粗糙度小，形成的压力均一，热压成功率高，保证纳米材料的各方向性能均一；在热压截止层的支撑下，热压过程不会被衬底底部、纳米材料薄膜的粗糙度干扰，可适用的衬底、纳米材料广泛； 4、本发明中热压截止层可通过半导体工艺实现阵列化制备，热压过程可采用阵列化样品，整个方法适用于快速的批量热压工艺。

王玉容;孙雷蒙;肖东阳;杜欢欢; 涂良成：男，1973年出生，华中科技大学教授，博士生导师，中共党员。2006年6月毕业于华中科技大学物理系，获物理学博士学位。目前主要研究方向为精密测量物理中精密科学仪器，主要涉及各种精密重力测量仪器中的方法与技术研究，从事高精度重力测量仪器中关键技术攻关和系统集成。2013年开始投入使用的MEMS中心有独立使用的320平米的工艺和检测洁净室，并拥有一整套完整的工艺加工和测试设备