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一种化学气相沉积炉进气分布装置

发布时间: 2022-08-02

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术咨询
成果类型： 实用新型专利
行业领域：
电子信息技术,新型电子元器件
成果介绍
本实用新型公布了一种化学气相沉积炉进气分布装置，包括沉积炉体和盖体，沉积炉体的侧板内圆周均匀设有布气腔，沉积炉体的底板上设有转换腔，转换腔通过连通槽与布气腔连接，转换腔还固接有竖直向下的连接管，连接管的底部固接有阀筒，阀筒内滑动连接有阀座
成果亮点
本实用新型的有益效果是，通过圆周均匀设置的布气腔，使得通入到沉积炉体中的气态原材料分布更加均匀，通过阀座的左右移动，实现两种气态原材料的交替输入，使得一种原材料输送完成后再进行另一种原材料的输入，使得沉积膜的厚度更加均匀，气态原材料在输送的过程中同步加热，提高其输入的温度，提高反应的效果，通过托盘的放置进行晶片的放置，提高便利性。
团队介绍
广州市鸿浩光电半导体有限公司成立于2018年09月20日，注册地位于广州市增城区新塘镇荔新十二路96号9幢103房，法定代表人为冯嘉荔。经营范围包括工程和技术研究和试验发展;新材料技术研发;日用品销售;劳动保护用品销售;五金产品研发;五金产品制造;五金产品批发;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;半导体分立器件制造;半导体分立器件销售
成果资料