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一种MEMS准零刚度的弹簧振子结构

发布时间: 2022-07-27

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
高新技术改造传统产业,先进制造技术
成果介绍
本发明公开了一种MEMS准零刚度的弹簧振子结构，包括：多组对称布置的弹簧单元，连接梁和检验质量；弹簧单元在重力作用下受到检验质量的重力产生的压应力和拉应力的作用后刚度接近为零；连接梁用于增大弹簧振子的交叉轴刚度。本发明中预应力由检验质量本身的重力提供，无需额外执行机，因此结构较简单。本发明中弹簧振子振动方向与预应力方向垂直，可用于加速度水平分量测量或者水平震动信号隔离。本发明通过多组受拉应力悬臂梁、受压应力悬臂梁串、并联构成全对称的结构形式，具有较好的交叉轴刚度比，建模、分析和设计较为简单。
成果亮点
本发明提供了一种可用于加速度水平分量测量或者水平震动信号隔离的MEMS准零刚度弹簧振子结构；该结构由多组受拉应力悬臂梁、受压应力悬臂梁串、并联构成全对称的结构形式，利用地球重力提供预应力，利用受压应力悬臂梁降低悬臂梁刚度，利用受压应力悬臂梁与受拉应力悬臂梁组合实现高交叉轴刚度比。结构采用深硅刻蚀工艺制备，能与MEMS工艺兼容。
团队介绍
伍文杰：男，1989年4月生于湖南邵阳，中共党员，讲师。主要从事高精度MEMS加速度计、MEMS相对重力仪、旋转式重力梯度仪等方面研究，已在相关领域发表SCI学术论文21篇，申请专利12项，已获授权4项，作为主持人获批国家自然科学基金青年基金、中国博士后特别资助（站中）、中国博士后科学基金各一项。 其他成员：;涂良成;刘骅锋;刘丹丹
成果资料