成果介绍
本实用新型提供了一种水平调整工具,包括位于所述反应腔外的:水平调节架,与所述调节杆固定连接且与所述调节杆呈十字形分布;两个调节组件,分别位于所述调节杆两侧,包括紧固件及弹性刻度件,所述紧固件穿过所述水平调节架并与所述反应腔的外壁连接,所述弹性刻度件包括刻度尺及柔性指示标,所述刻度尺固定于所述柔性指示标上,所述柔性指示标的两端分别连接所述水平调节架及所述反应腔的外壁。
成果亮点
通过旋转所述紧固件以改变所述水平调节架与所述反应腔的距离,所述柔性指示标相应伸缩,所述柔性指示标指向所述刻度尺的不同位置。本实用新型利于调整水平调节架的水平度。
团队介绍
粤芯半导体是广东省本土自主创新企业,也是广东省目前唯一进入量产的12 英寸芯片生产平台。粤芯半导体以“定制化代工”为营运策略,以市场需求驱动、政府政策推动,坚持以产品为中心,定义差异化技术平台,专注于物联网、汽车电子、工业控制、5G 等应用领域,致力于满足国产芯片制造需求,助力广东打造集成电路“第三极”。
粤芯半导体项目计划分为三期进行,计划总投资约370亿元。一期及二期新建厂房及配套设施占地14万平方米,一期主要技术节点为180-90nm制程,二期技术节点延伸至 90-55nm 制程,三期技术节点进一步延伸至55-40nm,22nm制程,实现模拟芯片制造规模效应和质量效益。三期建设全部完成投产后,将实现月产近8万片12 英寸晶圆的高端模拟芯片制造产能规模,满足大湾区制造业的功率分立器件、电源管理芯片、混合信号芯片、图像传感器、射频芯片、微控制单元等芯片需求。
成果资料