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摘要: 本实用新型提供一种光罩吸取器，包括真空吸附平台、真空管及操作杆，其中，真空吸附平台包括平台本体，平台本体包括相对设置的第一表面与第二表面，第一表面设有真空管口及空气阀，第二表面设有至少一吸附槽，平台本体内部设有通气管道，通气管道连通真空管口、空气阀及吸附槽；真空管一端与真空管口连接，真空管连接有真空阀；操作杆与真空吸附平台具有真空管口的一侧连接。本实用新型在设备发生故障光罩不能正常取出时，持操作杆把真空吸附平台伸入设备光罩平台区域，操控真空阀与空气阀把光罩从设备中吸取、放置到光罩室光罩盒中，提高取放光罩效率，并且避免用手直接接触光罩，降低光罩损坏风险，同时，降低工程师对设备操作时的安全风险。

主权利要求: 1.一种光罩吸取器，其特征在于，包括：真空吸附平台，包括平台本体，所述平台本体包括相对设置的第一表面与第二表面，所述第一表面设置有真空管口及空气阀，所述第二表面设置有至少一吸附槽，所述平台本体内部设置有通气管道，所述通气管道连通所述真空管口、所述空气阀及所述吸附槽；真空管，一端与所述真空管口连接，所述真空管连接有真空阀；操作杆，与所述真空吸附平台具有所述真空管口的一侧连接。