科创中国

摘要: 单片晶圆清洗机的组装夹具，包括一个底座、一个升降组件和一个夹持臂；升降组件安装于底座的上方；升降组件设有相对布置的两个升降臂、一个动力件、一个传动组件和两个丝杆，传动组件的一端连接动力件，另一端连接两个丝杆，并带动两个丝杆同步转动；两个升降臂分别套接于对应的丝杆，并与对应的丝杆相互啮合，且随着丝杆的转动而升降；夹持臂具有一个夹持孔，夹持孔用于夹持一个单片晶圆清洗机的下盘；夹持臂的两端分别可拆卸地安装于两个升降臂，使得夹持臂随着两个升降臂的升降而升降，以便于被夹持臂夹持的单片晶圆清洗机的下盘在高度方向上实现升降，避免人为的手动控制，提高基于单片晶圆清洗机的组装夹具的组装方式的组装精度和组装成功率。

主权利要求: 1.一种单片晶圆清洗机的组装夹具，其特征在于，包括：一个底座；一个升降组件，所述升降组件安装于所述底座的上方；所述升降组件设有相对布置的两个升降臂、一个动力件、一个传动组件和两个丝杆，所述传动组件的一端连接所述动力件，另一端连接两个所述丝杆，并带动两个所述丝杆同步转动；两个所述升降臂分别套接于对应的所述丝杆，并与对应的所述丝杆相互啮合，且随着所述丝杆的转动而升降；一个夹持臂，所述夹持臂具有一个夹持孔，所述夹持孔用于夹持一个单片晶圆清洗机的下盘；所述夹持臂的两端分别可拆卸地安装于两个所述升降臂，并随着两个所述升降臂的升降而升降。