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氧化物晶体生长过程自动控制系统

发布时间: 2022-06-13

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 新品种
行业领域：
新一代信息技术产业,信息传输、软件和信息技术服务业
成果介绍

该系统是氧化物晶体生长过程的自控设备，适合于用下称和上称法拉晶的单晶炉。该控制系统采用以单片微机为核心的数字控制技术，采用电子称测量晶体重量、热电偶测量加热温度，构成晶体生长量和温度双闭环控制系统，实现拉晶过程全自动控制。系统中设置有和晶体实际生长相适应的放肩、收肩及拉身理论模型。使用该系统生长出的晶体质量好、形状佳。该系统具有参数自动打印、通讯、运行参数实时显示和温度传感、称重传感故障报警等多种功能，是理想的晶体生长控制设备。该系统已通过工业实际运行，性能良好。

成果亮点
团队介绍
成果资料