TDR-70A（B）型单晶炉 _科创中国

TDR-70A（B）型单晶炉

发布时间: 2022-06-10

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式：技术服务

成果类型：新品种

行业领域：

高端产业

成果介绍

TDR-70A型单晶炉是软轴提拉型人工晶体生长设备，是在惰性气体环境中以石墨电阻加热器将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无位错硅单晶的设备，它可生产太阳能电池用的6″硅单晶和大规模集成电路所需要的高质量硅单晶。

成果亮点

团队介绍

成果资料