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一种Taiko晶圆传送方法

发布时间: 2022-06-08

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术咨询
成果类型： 发明专利,实用新型专利
行业领域：
新兴行业
成果介绍

本发明提供一种Taiko晶圆传送方法，包括利用晶圆翻转器夹持样品Taiko晶圆，随后旋转所述样品Taiko晶圆，当所述样品Taiko晶圆的定位点每旋转到一个候选标定对齐位置时，获取所述样品Taiko晶圆的变形量；其次根据所述变形量值获取所述Taiko晶圆的所述定位点的标定对齐位置；最后将待传送Taiko晶圆的定位点在所述晶圆翻转器上与所述标定对齐位置对齐。本发明提供的方法，整个传送过程无需人工干预，有效提高了Taiko晶圆的传送成功率。

成果亮点
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成果资料