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本实用新型公开的一种用于碳化硅加工的夹持工装，包括夹持柱体，所述夹持柱体内设置有夹持腔，所述夹持腔内设置有沿周向设置有若干可伸缩的夹持头。本实用新型通过在夹持柱体中设置可自由调节的夹持头，夹持头上的夹持针在接触到碳化硅时会产生形变，从而根据碳化硅自身的外形进行自适应的调节，夹持头对碳化硅进行夹持后，通过驱动器控制定位板对夹持针的位置进行固定，从而保证在之后的加工工作时，夹持头可以完美的适应碳化硅的外形，省去了更换夹紧块的工作，操作十分方便，省时省力。

一种用于碳化硅加工的夹持工装

[0001]技术领域

[0002]本实用新型涉及碳化硅加工设备技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅加工的夹持工装。

[0003]背景技术

[0004]碳化硅在进行长晶制造的过程中，需要使用到籽晶夹具，籽晶从最起始的准备工作到最后的退火阶段都需要稳定的固定在夹具中，以确保在制备过程中不会出现脱落的情况，以往的碳化硅夹具都是直接通过夹紧块对碳化硅进行夹紧工作，由于籽晶规格的不同，还需要根据情况对夹紧块进行更换，操作十分不便。

[0005]实用新型内容

[0006]本实用新型的目的在于避免现有技术的不足之处，提供一种用于碳化硅加工的夹持工装，从而有效解决现有技术中存在的不足之处。

[0007]为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种用于碳化硅加工的夹持工装，包括夹持柱体，所述夹持柱体内设置有夹持腔，所述夹持腔内沿周向设置有若干可伸缩的夹持头；

[0008]所述夹持头包括外壳体，所述外壳体在朝向夹持腔内的一侧设置有开口，外壳体内并排设置有若干可伸缩的夹持针，所述夹持针的一端在所述开口处伸出，所述外壳体内还设置有用于固位夹持针的定位板；

[0009]所述夹持柱体的外侧在对应所述夹持头的位置设置有伸缩气缸，所述伸缩气缸的活塞杆穿过夹持柱体并与所述外壳体固定连接；

[0010]所述定位板通过驱动器控制位移。

[0011]进一步，所述外壳体内固设有套管，所述夹持针位于外壳体内的一端安装在所述套管的空腔中，所述空腔内设置有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的一端抵靠在套管的内壁上，伸缩弹簧的另一端抵靠在夹持针的端部。

[0012]进一步，所述夹持针穿过所述定位板，所述定位板上在对应各夹持针的位置设置有活动孔，所述活动孔的尺寸大于夹持针的尺寸，所述驱动器的驱动端穿过所述外壳体并与定位板固定连接。

[0013]进一步，所述夹持针位于所述外壳体外的一端安装有防护头，所述防护头与所述夹持针插接固定。

[0014]进一步，所述防护头端部设置有螺纹杆，所述夹持针的端部设置有与所述螺纹杆相适配的螺纹孔，二者螺纹连接。

[0015]进一步，所述外壳体内在远离所述开口的一侧固设有安装板，所述安装板上在对应各所述套管的位置设置有穿孔，套管的端部穿过所述穿孔并通过螺母与安装板锁紧。

[0016]进一步，所述外壳体的一侧设置有安装盒，所述驱动器固设所述安装盒内。

[0017]进一步，所述夹持腔的下端沿周向设置有若干安装槽，所述夹持头位于所述安装槽内。

[0018]进一步，所述夹持腔的顶部沿周向设置有防护垫。

[0019]进一步，所述夹持柱体上端的一侧设置有观察窗。

[0020]本实用新型的上述技术方案具有以下有益效果：本实用新型通过在夹持柱体中设置可自由调节的夹持头，夹持头上的夹持针在接触到碳化硅时会产生形变，从而根据碳化硅自身的外形进行自适应的调节，夹持头对碳化硅进行夹持后，通过驱动器控制定位板对夹持针的位置进行固定，从而保证在之后的加工工作时，夹持头可以完美的适应碳化硅的外形，省去了更换夹紧块的工作，操作十分方便，省时省力。